スピンコーター(回転数の違いによるレジスト材の広がり)

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概要

スピンコーターは平滑な基材を高速回転させる事により遠心力で薄膜を構成する装置で、半導体製造工程において広範囲に使用されています。今回は２機種のハイスピードカメラを用いて回転数の違いを撮影し、レジスト材（半導体デバイスの製造に必要不可欠な化学薬品：光に反応して変化）を塗布した際の広がりを比較できるように撮影しました。

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